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Sistema X(Y)Z:metrología 3D sin contacto

Plataforma X(Y)Z equipada con sensor confocal cromático de punto o línea para metrología 3D sin contacto

La plataforma STI-Micromesure2 de nuestra representada STIL es un sistema completo de laboratorio para metrología óptica sin contacto 3D, en la que un sensor confocal cromático está montado sobre una sistema de granito con posicionamiento motorizado de precisión en los ejes XZ (o bien XYZ). La tecnología confocal cromática posibilita la medida simultánea de distintos materiales (incluso opacos o trasparentes) y sin que afecte la luz ambiente en la medida. Esto permite realizar medidas de precisión (metrología 3D) de superficies (microtopografía, rugosidad, metrología de formas...) y de grosores en medios traslúcidos.

El sensor óptico puede ser:

Sensor de punto (STI-PointSensor)

Sensor de línea (STI-LineSensor) para medida rápida de áreas, basado en 180 sensores puntuales

Pinche por favor en el tipo de sensor para conocer la tecnología y capacidades.

Configuraciones:

- 2D: 100x50, 200x50 (XxZ, mm)

- 3D: 100x100x50, 200x200x50, 200x200x100, 300x300x200 (XxYxZ, mm)

Existe la opción de encóders en los posicionadores lineales.

 

Micromesure2 equipado con sensor confocal cromático puntal

Ventajas y características

Sensores confocales cromáticos:

- Metrología 3dimensional sin contacto

- Resoluciones nano y micrométricas

- Sensor de luz blanca (sin moteado, amplio rango de medida)      

- Medida coaxial (sin sombras)

- Medida de pendientes pronunciadas en superficies reflectivas

- Insensible a la luz ambiente

- Puede medir metal, vidrio, semiconductor, cerámica,…y a la vez

- Medida de grosor y forma en medios trasparentes

- Gran rango de medidas (de 20 µm a 24 mm)        

 

Sistema de escaneo de precisión:

- Encoder de 0.1 µm en eje Z

- Opcional: encoder de 0.1 µm en eje XY

- Baja vibración

- Correcciones de ortogonalidad y planitud

- Cerramiento trasparente para evitar turbulencias

 

Controladores válidos: CCS-Prima y STIL-DUO

Pinche para información de los sensores confocales cromáticos de punto STI-PointSensor

 

Micromesure2 equipado con sensor confocal cromático lineal MPLS180

Disponible con los cabezales ópticos: NanoView, MicroView, and DeepView:

 

NanoView

MicroView

DeepView

Line length (mm)

1.34

1.87

4.1

Depth of field (mm)

0.11

0.5

2.6

Spot size diam (µm)

3.75

5.2

11.5

Pitch (µm)

7.4

10

22.5

Max slope angle (deg)

40

30

20

Working distance (mm)

4.6

10

47.8

Axial resolution (µm)

0.040

0.125

0.800

Accuracy (µm)

0.12

0.50

5.00

Gracias al gran rendimiento y velocidad del MPLS180, la duración de una medida en superficies grandes se reduce de varias horas a pocos minutos (incluso segundos).

Pinche para información de los sensores confocales cromáticos de línea STI-LineSensor.

 

Micromesure2: especificaciones mecánicas

 

X & Y

Z axis

Configuration

3M – 1R

3M – 3R

Both

Travel

100 mm

100 mm

50 mm

Encoder

No

Yes

No

Position accuracy

10 µm /100 mm

1 µm /100 mm

1 µm /100 mm

Position resolution

0.1 µm

0.1 µm

0.1 µm

Flatness

1 µm /100 mm

1 µm /100 mm

1 µm /100 mm

Max. speed

20 mm/s

20 mm/s

5 mm/s

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Sistema X(Y)Z:metrología 3D sin contacto

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